超純水設(shè)備中一種不斷提升并保持氮封水箱合格電阻率要求的工藝專利
目前普遍使用充氮法：即在水箱水面上充入氮氣使箱內(nèi)維持適當(dāng)?shù)恼龎毫Γ柚勾髿馀c箱內(nèi)水面接觸。純水設(shè)備超純水氮封水箱是將一定量的氮氣充入密封的水箱內(nèi)，水箱內(nèi)氮氣壓力不大于80Kpa，氮氣是惰性氣體能防止CO2等其它物質(zhì)溶入水中影響水質(zhì)，保證水箱內(nèi)的水不受二次污染而導(dǎo)致水質(zhì)下降。
氮封裝置由快速泄放閥及微壓調(diào)節(jié)閥兩大部分組成，而快速泄放閥由壓力控制器及單座切斷閥組成，當(dāng)純水設(shè)備儲罐內(nèi)壓力升高至設(shè)定壓力時，快速泄放閥迅速開啟，將罐內(nèi)多余壓力泄放。微壓調(diào)節(jié)閥是在儲罐內(nèi)壓力降低時，開啟閥門，向罐內(nèi)充注氮氣。因微壓調(diào)節(jié)閥必須使用在壓力為0.1Mpa壓力以下，現(xiàn)場N2壓力較高，必須安裝壓力調(diào)節(jié)閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。壓力可按要求分段設(shè)定，從0.5Kpa至60 Kpa以下。
氮封裝置在一定程度上防止水質(zhì)衰減，但水質(zhì)長時間不用水質(zhì)仍然會有衰減，這樣就會造成超純水車間輸送的拋光混床樹脂消耗較快。本裝置即使氮氣封水箱水滿，EDI也不會停止工作，而是當(dāng)水箱水滿時，由EDI裝置繼續(xù)不斷的循環(huán)提升氮封水箱超純水，補充水箱水質(zhì)的衰減并不斷的提高氮封水箱水質(zhì)。
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